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本产品面向狭小安装空间与高集成化应用场景开发,可满足半导体设备微振动检测、稳定平台闭环控制等严苛工况需求。产品基于高灵敏度 MEMS 传感技术,可精准采集低频微弱振动信号,支持输出 VC 振动曲线与PSD功率谱密度分析结果,为振动敏感工况环境提供高可靠性的数据支撑。
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本产品面向狭小安装空间与高集成化应用场景开发,可满足半导体设备微振动检测、稳定平台闭环控制等严苛工况需求。产品基于高灵敏度 MEMS 传感技术,可精准采集低频微弱振动信号,支持输出 VC 振动曲线与PSD功率谱密度分析结果,为振动敏感工况环境提供高可靠性的数据支撑。
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